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FSM413紅外激光測厚儀主要產(chǎn)品包括:光學(xué)測量設(shè)備:三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應(yīng)力測量設(shè)備、 紅外干涉厚度測量設(shè)備、電學(xué)測量設(shè)備:高溫四探針測量設(shè)備、非接觸式片電阻及漏電流測量設(shè)備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析（EOT）

FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。